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GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、最灵活的簇状工具系统,允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高,允许多个研究人员同时使用该系统,并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合,是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素,无论应用是什么。
GENxplor® R&D MBE系统获得了化合物半导体制造的CSindustry奖,采用Veeco成熟的3英寸生长室设计,并具工艺灵活性,非常适合UV LED、高效太阳能电池和高温超导体等新兴技术的材料研究。其高效的单框架设计将所有真空硬件与机载电子设备相结合,使其比其他 MBE 系统小 40%,从而节省宝贵的实验室空间。
Laurell的WS-1000MH系列微型湿法匀胶工作台适用于更狭小的空间和较小的预算。这个简单的工作站被提炼出真正的湿式工作站必须具备的精髓,以实现最大的经济性。
Laurell的WS-1000系列湿法匀胶工作台的配置和测试模块建造和运输安装时间短。易于装载和操作,所有物品都让操作员方便地触及。
Laurell的EDC-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。