SENTECH SENpro 椭圆偏振光谱仪具有操作简单、测量速度快、不同入射角椭偏振测量的组合数据分析等特点。它的测量光谱范围为 370 nm 至 1,050 nm。该工具的光谱范围与先进的软件 SpectraRay/4 相结合，可以轻松确定单片薄膜和复杂层叠的厚度和折射率。

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 椭圆偏振法分别测量高达 2,500 nm 或 3,500 nm 的近红外光谱。它提供最宽的光谱范围、最佳的信噪比和最高的可选光谱分辨率。可以测量厚度达 200 μm 的硅膜。FTIR椭圆偏振仪的测量速度与二极管阵列配置相比，二极管阵列配置也可选择高达1,700 nm。

SENTECH SE 500adv结合了椭圆偏振法和反射法，消除了测量透明薄膜层厚的模糊性。它将可测量的厚度扩展到 25 μm。因此，SE 500adv 扩展了标准激光椭偏仪 SE 400adv 的功能，特别适用于分析较厚的电介质、有机材料、光刻胶、硅和多晶硅薄膜。

FTPadv Expert薄膜测量软件具有FTPadv标准软件中包含的用户友好和以配方为导向的操作概念。突出显示拟合参数、测量和计算的反射光谱以及主要结果的光学模型同时显示在操作屏幕上。

FTPadv是一种经济高效的台式光谱反射解决方案，具有快速厚度测量功能。测量时间不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范围为 50 nm – 25 μm。包括一系列预定义的配方，便于光谱反射仪操作

RM 1000 和 RM 2000 光谱反射仪可测量表面光滑或粗糙的平面或弯曲样品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert软件计算单膜或层叠的厚度、消光系数和折射率。厚度分别为 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的单片、层叠和基板可以在 UV-VIS-NIR 光谱范围内进行分析。