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CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,采用手动装片方式,可配置半自动loading系统,气囊薄膜柔性加压,用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛
CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,采用手动装片方式,可配置半自动loading系统,气囊薄膜柔性加压,用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛
全自动CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的全自动抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,采用自动化装片方式,机械手自动取放片,同时搭配双面PVA滚刷进行在线刷洗功能,实现干进干出,用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛。
双面研磨机是一款操作简单,兼容性强的高效率研磨加工设备。主要用于晶片的双面机械研磨,通过搭配不同材质的研磨盘和不同粒径及材质的研磨液,可以实现不同材料,不同尺寸,不同厚度的晶片研磨。
卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备,采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。设备工作台可根据客户需求进行定制化,应用广泛。