真空炉FB系列 安装了EGR冷却器、散热器、蒸发器等各种热交换器的真空炉设备。公司开发了从批次式到连续炉的丰富产品系列。同时面向特殊用途的设备定制。

小型冻结真空干燥设备DFM系列 医药域的少量生产以及，实验用冻结真空干燥设备。具有省空间、低价格、高功能等实验用途要求。为了满足这样的需求，爱发科商品化了DFM系列设备。

自动氦检漏设备ALT·S系列（SUPER ALT）使用He作为检知气体的设备。应用ULVAC技术，运用全新机构，使得省空间、高速、全自动处理成为可能。

真空蒸馏设备CEH系列 该设备的用途是真空蒸馏处理。可在真空下低温短时间蒸馏热感受性高的物质（热分解·重重合的物质）。具有非常优异的分离效率。

PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。

Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产。