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单腔立式甩干机适用于晶圆直径至200mm;25片晶圆单盒工艺;标准的高边和低边花篮;可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺;用冷或热的N2辅助晶圆干燥;离心头容易更换。 去静电装置安装于工艺腔室区:去离子水回收;去阻率检测装置;机械手自动加载;可放置台面操作的设备、单立、双腔;去离子水加热系统;底座置放不锈钢滚轮;溶剂灭火装置;适用特殊设计的花篮。
FZ-14M(G)区熔晶体生长系统为制备单晶硅晶体样品而设计开发,该系统用于工业多晶硅生产中的材料分析。生产过程中的小型多晶体样品在氩气环境中被感应熔化,并在籽晶上结晶,形成单晶,然后进行光谱分析,以检测和记录所生产的多晶硅质量。该系统采用无接触熔化工艺,通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体,产生高极限真空环境,有效地防止了工艺过程中的污染。
FZ-14 区熔晶体生长系统是专为工业生产直径达100毫米(4英寸)的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸,可以拉出长度达1. 1米的晶体。在这个过程中,晶体的直径和液体区的高度可以通过摄像系统来监测。并且该系统的上部主轴和线圈都是自动定位的。该系统采用无接触熔化工艺,通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体,产生高极限真空环境,有效地防止了工艺过程中的污染,同时还能将氮气以受控的方式引入工艺炉体。
CGS-Lab单晶炉是PVA产品线中最小的直拉法晶体生长系统,专门为研究所和实验室设计。10 英寸热系统的设计用于最多 5 公斤的加料量和生长直径为 100 毫米、长度为 300 毫米的硅锭。设备开炉状态时高度为3.4米,对安装场地的高度要求相当低。晶体提升速度和旋转速度适用于生产特定尺寸的晶棒。