PVA TePla 超声扫描显微镜SAM Premium系列结合了声学显微镜和光学显微镜。它使超声扫描平台与倒置光学显微镜或反射式光学显微镜相结合。SAM Premium系列所使用的技术是以融合了生产和研究技术的核心平台为基础。SAM Premium系列旗下各个系统均具有高产量、高灵活性和宽广的扫描范围等特性。此外，各系统还可以根据客户的要求进行扩展，并用于多样化的应用。

PVA TePla SAM 全自动系列的全自动超声波扫描显微镜能够无损检测空洞、空隙、气泡、夹杂物和分层，是圆检测、焊接界面检查、MEMS检测、以及各类电子封装检测的理想选择。该系列配有自动缺陷检测软件包，可对各种缺陷类型进行全自动化评估，检测结果可以以klarf文件和VEGA MAP的形式发布，同时支持链接GEM/SECS。根据所需分析样品，可以选择不同扫描仪配置，如：4×1、4×2或4×4。

PVA TePla SAM系列的超声波扫描显微镜使用简单，操作方便，是一款用于过程控制和质量保证，以及研究应用的无损检测设备。SAM系列旗下各型号均统一由一个符合行业标准的组件平台衍生而来，在此基础上，再融入了先进的生产和制造技术。

KOSAKA LAB ET 200A微型轮廓仪（光学检测）是株式会社小坂研究所的高精度微细形状测定机，基于Windows系统，采用金刚石探针接触测量，适用于多种材料表面形貌分析，如台阶、粗糙度等，配备多样探针，操作直观便捷，广泛应用于半导体、光电等领域。