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1. 产品参数
80 kHz：功率 1000 或 3000 W
13.56 MHz：功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W
2.45Hz：功率 0 - 1200 W
所有发生器均为 0 - 100% 无可调型
圆形不锈钢，带铰链的门（约 φ400 mm，长 625 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）
2. 用途
材料清洗
材料活化
材料刻蚀
材料涂覆
3. 公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的国家高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。如有需要半导体设备和进口半导体设备的朋友欢迎电话咨询我们！
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