一、产品概述：

扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种高分辨率的显微镜，利用电子束扫描样品表面以获取其形貌和组成的信息。SEM能够提供详细的三维表面图像，广泛应用于材料科学、电子工程、生物学和地质学等领域。

二、设备用途/原理：

·设备用途

EM主要用于材料表面的形貌分析、微观结构观察和成分分析。它在半导体器件的缺陷检测、金属和合金的微观结构研究、以及生物样品的形态观察中发挥着关键作用。SEM还常用于材料的质量控制和研发过程中的性能评估。

·工作原理

SEM的工作原理是将高能电子束聚焦到样品表面，电子束与样品相互作用产生二次电子、反射电子和特征X射线等信号。通过收集这些信号，SEM能够生成样品表面的高分辨率图像。电子束的扫描可通过计算机控制，实现多角度观察和深度信息提取。由于其高分辨率和大景深特性，SEM能够提供丰富的样品表面信息，助力多领域的研究和应用。

三、主要技术指标：

1. FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术 、半导体、电子器件、生命科学、材料等域

2. 电子枪种类：冷场发射

3. 二次电子图象分辨率：0.6 nm@15kV；0.7nm@1kV

4. 放大倍数：20-2,000,000x

5. 加速电压：0.5-30kV