一、产品概述：

探针式轮廓仪（又称台阶仪）是一种用于测量材料表面轮廓和微观形貌的高精度仪器。它通过机械探针在样品表面移动，获取表面高度变化信息，广泛应用于材料科学、半导体和微电子工程等领域。

二、设备用途/原理：

·设备用途

探针式轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、台阶高度和形貌特征。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、薄膜厚度测量、材料缺陷检测以及表面处理过程的监控。这些数据对于材料的性能评估和质量控制至关重要。

·工作原理

探针式轮廓仪的工作原理是通过细探针在样品表面沿着预设路径移动，测量探针与样品表面之间的高度变化。当探针接触到样品表面时，其位移会被转换为电信号，通过数据采集系统进行记录和分析。仪器通常配备高精度的位移传感器和控制系统，以确保测量的准确性和重复性。最终生成的轮廓图可以直观地展示材料表面的微观特征和结构变化。

三、主要技术指标：

1. 测量功能：二维表面轮廓测量 /可选三维测量

2. 样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOV

3. 探针压力：使用LIS 3 传感器 1至15mg

4. 低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg

5. 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um

6. 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um  可按客户要求定制针尖

7. 样品X/Y载物台：

8. 手动X-Y平移：100mm (4英寸）

9. 机动X-Y平移：150mm (6 英寸)

10. 样品旋转台：手动，360° 旋转    机动，360°旋转

11. 扫描长度范围：55mm(2英寸)

12. 每次扫描数据点：多可达120.000数据点

13. 大样品厚度：50mm(2英寸)

14. 大晶圆尺寸：200mm(8英寸)

15. 台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上

16. 垂直范围：1mm(0.039英寸)

17. 垂直分辨率：大1A (6.55um垂直范围下)