详细介绍
探针台是一种用于微小电子元件和材料的测试设备,广泛应用于半导体、材料科学和微电子领域。它提供一个稳定的平台,用于精确定位和连接探针,以实现对样品的电气测试和分析。
探针台主要用于测试集成电路、薄膜材料和微结构等的电气性能。常见应用包括半导体器件的参数测试、材料的电阻率测量和故障分析等。通过高精度的定位和可调节的探针,研究人员能够获取样品的详细电气特性。
探针台的工作原理是通过机械系统将探针精确地定位到样品的特定接触点。设备通常配备高分辨率的光学系统,用于观察样品并调整探针的位置。当探针接触样品时,可以通过外部测试设备(如源测量单元)施加电流或电压,并测量相应的电压或电流反应。通过这种方式,研究人员可以获取样品的电气参数,分析其性能和特性。
1. 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节
2. 样品尺寸:碎片~12英寸
3. 自动化:手动、半自动、全自动
4. 测试环境:高低温、磁场、真空
5. 探针台类型:分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片测量、定制化等。
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