一、产品概述：

智能型多功能椭偏仪是一种高精度的光学测量仪器，用于分析薄膜材料的光学特性和厚度。该仪器结合了椭偏技术和智能化控制系统，能够提供实时测量和数据分析，广泛应用于半导体、光电材料和表面科学等领域。

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

二、设备用途/原理：

·设备用途

智能型多功能椭偏仪主要用于测量薄膜的折射率、消光系数和厚度，适用于各种薄膜材料的研究，包括氧化物、氮化物和有机材料。它在半导体制造、光学涂层开发和材料表征等方面发挥着重要作用，帮助工程师和研究人员优化材料性能。

·工作原理

椭偏仪的工作原理基于光的偏振状态变化。当偏振光照射到样品表面时，反射光的偏振状态会发生变化，这种变化与材料的光学性质及薄膜厚度相关。智能型椭偏仪通过检测反射光的偏振状态，利用数学模型分析光学参数。通过智能化的软件系统，仪器能够自动进行测量、数据处理和结果分析，提高了测试的效率和准确性。

三、主要技术指标：

1. Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）

2. 光谱范围：450nm to 1000nm

3. 光谱分辨率：优于3nm

4. 光源：卤素灯和蓝光LED

5. 测试时间：小于1到10

6. 光斑尺寸:

   75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

   100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

   250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

   500µm*500µm

7. 入射角：450 to 900 ，步径50

8. 样品尺寸：200mm以内

9. 样品准直：手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角

10. 空气对射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

11. 厚度准确性：0.04%

12. 厚度重复性：±0.02%

13. 可选附件：

      全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010

      可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

      冷热台，液体样品池和电化学反应池

      十字星自准直系统