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智能型多功能椭偏仪

简要描述:智能型多功能椭偏仪​ (Smart SE) 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

  • 产品型号:customized
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 614

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详细介绍

一、产品概述:

智能型多功能椭偏仪是一种高精度的光学测量仪器,用于分析薄膜材料的光学特性和厚度。该仪器结合了椭偏技术和智能化控制系统,能够提供实时测量和数据分析,广泛应用于半导体、光电材料和表面科学等领域

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

二、设备用途/原理

·设备用途

智能型多功能椭偏仪主要用于测量薄膜的折射率、消光系数和厚度,适用于各种薄膜材料的研究,包括氧化物、氮化物和有机材料。它在半导体制造、光学涂层开发和材料表征等方面发挥着重要作用,帮助工程师和研究人员优化材料性能。

·工作原理

椭偏仪的工作原理基于光的偏振状态变化。当偏振光照射到样品表面时,反射光的偏振状态会发生变化,这种变化与材料的光学性质及薄膜厚度相关。智能型椭偏仪通过检测反射光的偏振状态,利用数学模型分析光学参数。通过智能化的软件系统,仪器能够自动进行测量、数据处理和结果分析,提高了测试的效率和准确性。

三、主要技术指标:

1. Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)

2. 光谱范围:450nm to 1000nm

3. 光谱分辨率:优于3nm

4. 光源:卤素灯和蓝光LED

5. 测试时间:小于1到10

6. 光斑尺寸:

   75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

   100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

   250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

   500µm*500µm

7. 入射角:450 to 900 ,步径50

8. 样品尺寸:200mm以内

9. 样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角

10. 空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

11. 厚度准确性:0.04%

12. 厚度重复性:±0.02%

13. 可选附件:

      全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010

      可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

      冷热台,液体样品池和电化学反应池

      十字星自准直系统


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