一、产品概述：

四探针电阻率测试仪是一种精密测量工具，专用于评估各种材料的电阻率，尤其在半导体和材料科学领域中具有重要应用。该设备通过其特殊的四探针设计，能够提供高精度和快速的电阻率测量，适用于不同类型的固体材料。

二、设备用途/原理：

·设备用途

四探针电阻率测试仪广泛应用于半导体材料的研发、电子元件的性能测试以及新材料的电性能评估。它能够帮助研究人员和工程师深入理解材料的导电特性，从而推动新技术的开发和应用。

·工作原理

该仪器的工作原理基于四个探针的布局，其中外侧探针施加已知电流，内侧探针测量因电流通过材料而产生的电压降。通过欧姆定律和几何因素的计算，仪器能够准确得出材料的电阻率，减少接触电阻带来的误差，从而提高测量的准确性。

三、主要技术指标：

1. 应用：半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等)，扩散层，硅相关外延材料，离子注入样品

2. 样品尺寸：基于所选择的平台而定，圆形样品大支持300mm(12 inch)，或方形大尺寸730x920mm

3. 测量范围：

    V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω

    方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

    电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm