中央供药系统

1. 产品概述：

智程中央供药系统是用于厂内供药的设备，能够按照设定的配比，将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。它可以精确地控制药液的输送和配比，确保生产过程中使用的药液符合工艺要求。

2. 设备应用：

· 半导体制造：在半导体晶圆制造过程中，为各种清洗、蚀刻、沉积等工艺提供精确配比的化学药液，如酸性（H₂SO₄、HCl、HNO₃、H₃PO₄、HF、BOE 等）、碱性（NH₄OH、NaOH、KOH 等）、有机（IPA、ACE、去胶、去蜡等）以及抛光液（金刚石抛光液、化学抛光液等。

· LED 光电行业：为 LED 芯片的制作过程提供所需的化学药液供应，助力提升 LED 产品的质量和性能。

· 电子行业：在电路板制造等电子制造环节中，提供精确的化学药液供应，保障生产工艺的顺利进行。

3. 设备特点：

· 供药配比精确：能够严格按照设定的比例进行药液调配，确保药液浓度的准确性，从而保证生产工艺的稳定性和产品质量。

· 配方可编辑：配方可以根据客户的具体需求进行编辑和确认，具有较高的灵活性，能满足不同生产工艺对药液配方的多样化要求。

· 容量定制化：容量大小可根据客户的实际需求进行定制，适应不同规模的生产场景，避免资源浪费或供应不足的情况。

· 自动化程度高：实现了自动供药过程，减少了人工操作带来的误差和不确定性，提高了生产效率和供药的及时性。

· 系统稳定性强：经过精心设计和优化，具备良好的稳定性和可靠性，能够在长时间的生产过程中稳定运行，降低设备故障对生产的影响。

4. 产品参数：

· 供药种类：涵盖各种适用药液，如不同类型的酸、碱、有机溶液和抛光液等。

· 配比精度：例如可精确到小数点后几位的配比精度。

· 最大供药流量：反映系统在单位时间内能够供应的药液最大量。

· 储液罐容量：根据定制需求，储液罐的容量有不同规格。

· 控制方式：如采用先进的自动化控制系统，具备精确的参数设置和监控功能。

· 管路材质：使用适合输送化学药液的特殊材质管路，确保药液的稳定性和安全性，同时具备良好的耐腐蚀性。

· 实际参数可能会因设备的具体配置和定制需求而有所不同。