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电阻式碳化硅长晶炉

简要描述:AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

  • 产品型号:AGF系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 175

详细介绍

1. 产品概述

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

2. 设备用途/原理

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长4 组加热器独立控制,灵活的温场调节机能力坩埚系统具备升降、旋转功能,温场更均匀下装载,上维护,操作便捷

3. 设备特点

晶体尺寸 6、8 英寸加热方式 电阻加热适用材料 碳化硅适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)适用域 科研、化合物半导体。碳化硅单晶是最重要的第三代半导体材料之一,具有禁带宽度大、高热导率、高饱和电子迁移率、高击穿电场等特性,在智能电网、电力牵引、电动汽车、微波射频等领域具有优势。


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