当前位置:首页 > 产品中心 > 其他前道工艺设备 > 8 氧化设备、退火设备 > AGF系列电阻式碳化硅长晶炉
相关文章
Related Articles详细介绍
1. 产品概述
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
2. 设备用途/原理
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长,4 组加热器独立控制,灵活的温场调节机能力。坩埚系统具备升降、旋转功能,温场更均匀,下装载,上维护,操作便捷。
3. 设备特点
晶体尺寸 6、8 英寸,加热方式 电阻加热,适用材料 碳化硅,适用工艺 物理气相输运法(PVT 法),适用域 科研、化合物半导体。碳化硅单晶是最重要的第三代半导体材料之一,具有禁带宽度大、高热导率、高饱和电子迁移率、高击穿电场等特性,在智能电网、电力牵引、电动汽车、微波射频等领域具有优势。
产品咨询