碳化硅高温退火炉

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉

1、适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备

SiC high temperature activation & annealing equipment

2、最高温度 2000℃，升温速率可达 100℃/min

Max.temp 2000℃, Max.ramp rate100℃/min

3、石墨电阻加热，工艺腔室洁净

Graphite resistance heating, high cleanliness chamber

4、自动装片，Cassette to Cassette

Automatic loading, cassette to cassette

5、SEMI S2/S6 认证

SEMI S2/S6 certification

技术参数

1、晶圆尺寸 4/6 英寸兼容

2、适用材料 碳化硅、氮化铝

3、适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑

4、适用领域 科研、化合物半导体