立式/卧式管舟清洗设备

1. 产品概述

立式/卧式管舟清洗机，如Bpure Series系列，采用先进的清洗工艺，能够高效、清洗各种石英管、舟、碳化硅管及其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。这些设备不仅适用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的清洗，还具备广泛的兼容性，能够满足不同工艺和材料的清洗需求。

2. 设备用途/原理

立式/卧式管舟清洗设备广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体等高科技领域，以及科研机构的实验室中。它们在这些领域中发挥着重要作用，确保了半导体器件和设备的生产质量和可靠性。

3. 设备特点

全自动清洗：设备采用全自动控制系统，操作简便，能够大幅度提高清洗效率，降低人工成本。

多种清洗工艺可选：设备提供浸泡式清洗与喷淋式清洗两种工艺可选，用户可根据实际需求选择合适的清洗方式。

一机多用：设备设计灵活，可兼容多种石英管、舟及工件的清洗，满足不同场合和工艺的需求。

自主研发控制系统：配备自主研发的控制系统，具有友好的人机交互界面，方便用户操作和维护。

自动配液系统：设备配备自动配液系统，换酸便捷，能够减少化学试剂的浪费，并降低操作风险。

分级安全互锁设置：设备设有分级安全互锁装置，确保设备在运行过程中的安全性和可靠性。