12英寸单片清洗设备

简要描述：Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备。

产品型号：Saqua SC3080A系列
厂商性质：经销商
更新时间：2024-09-05
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详细介绍

1. 产品概述

Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备。

2. 设备用途/原理

Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备，精密的腔室微环境控制能力，支持多种化学品，高效的化学品回收效率，4 腔或 8 腔可选。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜。适用工艺后段 Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀，后段控挡片回收。适用域新兴应用、集成电路、先进封装。百科：‌单片清洗设备主要用于清洗半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的清洗干燥工艺。‌单片清洗设备是半导体制造过程中的关键设备之一，特别是在硅片制造、晶圆制造及芯片封装等场景中发挥着重要作用。这些设备通过采用旋转喷淋、超声波、气泡等方式逐片清洗晶圆，确保半导体器件的洁净度和性能。