卷绕式溅射设备

1 产品概述:

   卷绕式溅射设备，也称为卷绕磁控溅射镀膜机，是一种在真空环境下，利用磁控溅射技术将金属、合金、化合物或陶瓷等材料沉积到连续卷绕的柔性基材（如塑料薄膜、金属带等）上的先进镀膜设备。该设备主要由溅射室、卷绕系统、磁控靶及电源、样品加热系统、样品退火系统、泵抽系统、真空测量系统、电控系统、气路系统等组成。在溅射过程中，通过高能粒子轰击靶材表面，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积在基材上，形成所需的薄膜层。

2 设备用途：

卷绕式溅射设备具有广泛的应用领域，主要包括但不限于以下几个方面：

1. 柔性电子：用于在柔性基材上镀制各种介质膜、导电膜等，如ITO透明导电膜，广泛应用于柔性线路板、柔性显示器件等领域。

2. 太阳能电池：在金属带上镀制光学多层膜，用于制作薄膜太阳能电池，提高光电转换效率。

3. 包装与防伪：在包装材料上镀制防伪膜层，提高产品的防伪性能和美观度。

4. 电容器：在电容器电极上镀制金属薄膜，提高电容器的性能。

3 设备特点

卷绕式溅射设备具有以下几个显著特点：

1. 高效连续生产：设备采用连续卷绕的方式，实现了对柔性基材的连续镀膜处理，大大提高了生产效率。

2. 镀膜质量高：磁控溅射技术具有镀膜温度低、膜层厚度可控、细腻、均匀、附着牢固等优点，能够制备出高质量的薄膜层。

3. 镀膜材料范围广：可适用于多种材料的镀膜处理，包括金属、合金、化合物和陶瓷等。

4 技术参数和特点：

可根据工艺或生产性选择各种模组。

通过任意、追加选择模组，可实现各种用途。

在地面高度可以进行设备操作。

优秀的氛围分隔性能和成膜工艺的改善，使高速率生产高品位的薄膜成为可能。

触摸屏用配线膜、透明导电膜以及透明薄膜等。

FPC用电膜