真空炉

1 产品概述:

   真空炉是一种在炉腔内利用真空系统（由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件组成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，从而实现真空状态的加热设备。其炉膛通常由金属罩壳或石英玻璃罩密封，并通过管道与高真空泵系统联接，以达到所需的真空度。真空炉的加热方式多样，包括电阻加热、高频感应加热等，最高温度可达3000℃左右。

2 设备用途：

真空炉的用途非常广泛，主要包括以下几个方面：

1. 熔炼金属材料：真空炉能够提供高温和低压环境，使金属材料在熔融状态下更容易排除杂质和气体，从而提高材料的纯度和均匀性。

2. 烧结陶瓷和粉末材料：在高温下提供无氧环境，避免材料氧化和污染，使烧结效果更好。

3. 热处理金属材料：提供高温下的稳定、均匀的加热环境，用于提高材料的硬度、韧性等力学性能。

4. 太阳能电池生产：用于制备太阳能电池中的硅片，进行掺杂、烧结等工艺。

3 设备特点

真空炉的特点主要体现在以下几个方面：

1. 清洁表面：消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面，这对于改善切削性能等具有重要意义。

2. 环保无污染：整个加热过程在真空环境下进行，对环境无污染，无需进行三废处理。

3. 高精度控制：炉温测定、监控精度明显提高，热电偶的指示值与炉温温度可达到较高的精度。

4. 机电一体化：现代真空炉的机电一体化程度高，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，实现自动化操作。

4 技术参数和特点：

•通过采用9分割温度控制的in-Line方式，实现了优秀的均热性能和较高的生产性能。

•由于可对应从低真空到高真空的各种用途，可以选择合适的排气系统。