涂胶与显影机

一个工具适用于所有先进的包装应用

通过在一个系统中提供多种工艺技术，如光阻剂、聚酰亚胺和PBO涂层，ACS300 Gen3提供了高效率。它还为每个模块提供了多达五种抗蚀剂或四种显影剂的能力，以实现最佳的工艺灵活性。此外，通用的热板设计消除了对不同抗蚀剂或PI类型的特定热板的需要。ACS300 Gen3允许同时处理200和300毫米的晶圆，而不需要进行机械转换。

一致的过程监控导致高产量

ACS300 Gen3可以实现高效的模块堆叠，从而节省了洁净室中昂贵的空间。多达12个模块可以方便地在三层模块系统中相互排列，而该工具的多种节省化学品的功能实现了进一步的节约。无论是SUSS MicroTec公司专有的GYRSET技术、新颖的分配技术还是化学品再循环系统，该工具都能经济地使用化学品，并符合的可持续发展标准。

在吞吐量方面表现出色

当使用可选的第二个机器人系统时，ACS300 Gen3在三步流程中达到了高达240 wph的吞吐率。一个先进的过程控制系统优化了处理时间：调度算法可以有选择地交换，以确保瓶颈步骤的时间段得到充分的利用。此外，诸如在高温下的显影剂和流动模式的特点也减少了加工时间。

一致的过程监控导致高产量

使ACS300 Gen3脱颖而出的是其高度的过程控制。它可以连续记录所有相关参数的过程数据，如温度、流量、压力、体积、清洗率等。数据记录允许精确调整过程参数、可重复的结果和快速识别潜在的薄弱点。过程变得更加稳定和可重复，产量也可以显著提高。

亮点

占地面积小，高效的化学品处理，灵活的工艺，配置高，吞吐量的能力，稳定的工艺结果