LSA 101 激光退火炉

简要描述：Veeco 的 LSA101 系统安装在的 IDM 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity 平台™构建，在均匀性和低应力处理方面具有根本优势。LSA101 系统可实现关键的毫秒级退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的高加工温度，从而提高设备性能、降低泄漏和提高产量。

标准 LSA

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厂商性质：经销商
更新时间：2024-08-13
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Veeco 的 LSA101 系统安装在 IDM 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity 平台™构建，在均匀性和低应力处理方面具有根本优势。LSA101 系统可实现关键的毫秒级退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的高加工温度，从而提高设备性能、降低泄漏和提高产量。

标准 LSA101 配置利用单束窄激光束将晶圆表面从衬底温度加热到峰值退火温度。为了应对日益复杂的工艺需求，Veeco 开发了一种双光束技术，该技术扩大了非熔融激光退火的应用空间，并具有第二个低功率激光束以实现低温加工。当使用双光束时，会结合第二个更宽的激光束来预热晶圆。双光束系统在调节温度和应力分布方面提供了灵活性。

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