激光光刻机.

1. 产品概述

MPO 100是海德堡仪器推出的一款先进多用户工具，专门为复杂微结构的3D光刻和3D显微打印而设计。作为一款顶尖的设备，MPO 100采用了先进的双光子聚合（TPP）技术，这一技术在微光学、光子学、微力学以及生物医学工程等多个领域的应用中表现出色，推动了这些领域的技术进步和创新。

MPO 100所提供的多功能平台，使其在精度和生产效率方面达到一定水平。它能够在单一高效的工艺步骤中，快速而准确地生产出复杂的功能性微结构。这一特性尤其适用于需要精细设计和高可靠性的应用，如高性能光学元件、微流体器件以及生物传感器等，满足市场对高精度和高效能的需求。

MPO 100的灵活性使得它可以适应多种材料和设计需求，支持不同用户的应用。此外，该设备的高吞吐量确保了生产效率，使得科研人员和工程师能够在短时间内进行多次实验和迭代，从而加速产品开发和技术验证。

2. 主要特点

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸实现精度。受益于扫描速度超过 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及体素调优。

多种材料兼容性：利用 522 nm 的强大飞激光系统高效处理各种聚合物。利用经过行业验证的ORMOCER®杂化聚合物，具有的光学、机械和化学性能。

免拼接微光学元件：通过无限视场 （IFoV） 制造模式，无需拼接即可创建精确的微光学元件。

模块化3D打印平台：在 3D 光刻和 3D 显微打印之间无缝切换，具有特定于应用的写入模式和基板支架。制造高度超过 1 cm 的宏观结构和表面粗糙度低至 10 nm 的微观结构。

体素调优功能：在扫描过程中对体素尺寸进行微调，以减少所需的层数。

3. 应用

微光学：无需拼接即可创建高精度微光学元件，确保无缝集成。

光子学：将光子器件直接写入基板上，从而优化器件性能和集成度。

细观力学：生产具有高精度和可靠性的复杂微机械结构。

生物医学工程：制造针对特定应用量身定制的复杂生物医学设备和支架。

量子器件：开发高精度和定制化的先进量子器件，用于沿研究和应用。