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| 写入模式 | 我 | 第二 |
|---|---|---|
| 写作表现 | ||
| 最小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
| 最小行数和间距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
| 地址网格 [nm] | 4 | 8 |
| 边缘粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 |
| CD均匀度 [3σ， nm] | 50 | 60 |
| 2鼈层对齐（全局）[nm] | 100 | 130 |
| 写入速度 [mm2/分钟] | 340* | 1020* |
| *快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但没有规格 | ||
| 100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min] | 39 | 17 |
| 系统特点 | ||
|---|---|---|
| 光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
| 最大基板尺寸和写入面积 | 300 x 300 毫米2 | |
| 基板厚度 | 0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度） | |
| 最大曝光面积 | 300 x 300 毫米2 | |
| 自动对焦 | 实时自动对焦系统（光学和气动） | |
| 自动对焦补偿范围 | 高达 80 μm | |
| 流量箱 | （闭环）温控环境试验箱 | |
| 对准和计量 | 用于测量和对准的相机系统和软件包 | |
| 其他功能和选项 | 100、150、200 和 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪 | |
| 系统尺寸 | ||
| 系统 / 电子机架 | ||
| 宽度 [mm] | 2605 / 800 | |
| 深度 [mm] | 1652 / 650 | |
| 高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
| 重量 [kg] | 3550 / 180 | |
| 安装要求 | ||
| 电气 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 | |
| 压缩空气 | 6 - 10 巴 |
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