双光子聚合直写光刻机

1.产品概述：

MPO 100，这是海德堡仪器先进的多用户工具，为复杂微结构的 3D 光刻和 3D 显微打印而设计。MPO 100 利用先进的双光子聚合（TPP），在微光学、光子学、微力学和生物医学工程域的应用中表现出色。这种多功能平台提供的精度和吞吐量，能够在一个高效的工艺步骤中生产出复杂的功能性微结构。

2.设备用途：

微光学：无需拼接即可创建高精度微光学元件，确保无缝集成。

光子学：将光子器件直接写入基板上，从而优化器件性能和集成度。

细 观 力学：生产具有高精度和可靠性的复杂微机械结构。

生物医学工程：制造针对特定应用量身定制的复杂生物医学设备和支架。

量子器件：开发高精度和定制化的先进量子器件，用于沿研究和应用。

3.特色参数：

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸实现高的精度。受益于扫描速度超过 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及体素调优。

多种材料兼容性：利用 522 nm 的强大飞激光系统高效处理各种聚合物。利用经过行业验证的ORMOCER®杂化聚合物，具有好的光学、机械和化学性能。

免拼接微光学元件：通过无限视场 （IFoV） 制造模式，无需拼接即可创建精确的微光学元件。

模块化3D打印平台：在 3D 光刻和 3D 显微打印之间无缝切换，具有特定于应用的写入模式和基板支架。制造高度超过 1 cm 的宏观结构和表面粗糙度低至 10 nm 的微观结构。

体素调优功能：在扫描过程中对体素尺寸进行微调，以减少所需的层数。