无掩模直接成像仪光刻机

简要描述：PG 300 DI 是一款体积图案发生器，专为在 i 线光刻胶中直接写入高分辨率微结构而设计。它源自掩模制作工具，具有所有先进的 VPG 系统组件，能够以最高的精度和准确度进行书写。最大写入区域覆盖 300 mm 晶圆。
VPG 300 DI 系统的目标用途主要是学术和工业研究与开发，这些领域需要高灵活性和小于 2 μm 的特性。该系统可满足各种应用的需求，包括产品原型制作、MEMS、与其他工具的

产品型号：VPG 300 DI
厂商性质：经销商
更新时间：2024-09-05
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产品概述：

PG 300 DI 是一款体积图案发生器，为在 i 线光刻胶中直接写入高分辨率微结构而设计。它源自掩模制作工具，具有所有先进的 VPG 系统组件，能够以高的精度和准确度进行书写。大写入区域覆盖。

写入模式	一	二
写作表现
小特征尺寸 [μm]	0.5	0.8
小行数和间距 [μm]	0.8	1.2
地址网格 [nm]	4	8
边缘粗糙度 [3σ， nm]	30	40
CD均匀度 [3σ， nm]	50	60
2鼈层对齐（全局）[nm]	100	130
写入速度 [mm2/分钟]	340*	1020*
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但没有规格
100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min]	39	17

系统特点
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸和写入面积	300 x 300 毫米2
基板厚度	0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度）
大曝光面积	300 x 300 毫米2
自动对焦	实时自动对焦系统（光学和气动）
自动对焦补偿范围	高达 80 μm
流量箱	（闭环）温控环境试验箱
对准和计量	用于测量和对准的相机系统和软件包
其他功能和选项	100、150、200 和 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪
系统尺寸
	系统 / 电子机架
宽度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180
安装要求
电气	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
压缩空气	6 - 10 巴