无掩膜光刻机

1. 产品概述

BIO系列是生命科学版的无掩膜紫外光刻机，该设备具有更高的深宽比，能满足生命科学域的特殊需求。它主要用于制备像微流控芯片之类的具有特定需求的样品 。在微流控芯片的制造过程中，其高深宽比和高灵活性的特点得以展现，可确保芯片的质量和性能。这使得它成为生命科学研究和相关应用中的重要工具。BIO 系列的出现为生命科学域带来了新的机遇，有助于推动相关技术的发展和创新，为科学研究和实际应用提供有力支持。

特征尺寸1μm

无掩膜光刻机

高深比

2. 应用领域

微流道芯片

二维材料

光学掩膜版

MEMS器件

灰度光刻

特殊微纳结构

3. 公司概要

托托科技（苏州）有限公司是一家注于显微光学加工和显微光学检测域的公司，在基于数字微镜器件的无掩膜光刻技术域中进行了数年的深入研究和技术积累，其研制和生产的无掩膜紫外光刻机一经问世，就受到了诸多客户的青睐，在科研和工业域都有广泛的应用。例如，在微纳加工域，可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型传感器等；在光电子域，可以用于制作光栅、衍射光学元件等。

托托科技致力于设备底层技术的研究和积累，不断寻求技术的突破，努力为客户带来更好的设备和更好的使用体验，帮助客户创造更高的价值。