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1.产品概述：
Beneq Transform 300 是一个高度通用的制造平台，面向致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用的 IDM 和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案，适用于多种高薄膜应用，从栅电介质到钝化和/或封装等。
2.产品优势：
大的灵活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同时提供热 ALD（批量）和等离子 ALD（单晶圆）技术的 300mm 原子层沉积 （ALD） 簇工具。
配置：找到适合您的设置。 Transform® 300 平台旨在满足广泛的容量和应用要求，包括先进封装、芯片封装和磁带晶圆应用。
生产力：行业标准的顶水平。 该工具包括可维护性和可用的短 MTTCR。借助我们有的预热模块，您可以享受热批量 ALD 的高吞吐量。
晶圆厂就绪：Beneq Transform® 300 与 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 标准。
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