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1.产品概述：
KS-S150星型全自动涂胶显影机是由沈阳芯源微电子设备股份有限公司研发的匀胶显影设备，用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆，产品涉及多个应用域，涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。
2.应用领域：
传感器芯片制造
光通信芯片制造
功率芯片制造
LED芯片制造
图形化衬底制造
化合物半导体域
3.产品优势：
1.占地小、稳定性高、操作与维护方便；
2.产能高，涂胶机产能大于190片/小时；
3.光刻胶用量小，4寸用量0.6ml；
4.优异的流场设计，涂胶均匀性好。
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