12寸 集束型涂胶显影机

1. 产品概述

KS-C300涂胶显影机是一款高效能的设备，广泛应用于封装、MEMS（微电机械系统）、OLED（有机发光二极管）等领域的涂覆和显影制程。该设备的设计理念强调高产能与灵活性，每小时可以加工高达180片晶圆，极大地提高了生产效率。这一特性对于满足快速变动的市场需求，尤其是在高科技产业中无疑具有重要意义。

KS-C300不仅具备处理能力，还有出色的兼容性，能够适应不同材质的晶圆，包括硅晶片、玻璃片、键合片以及各种化合物材料。这样的多样化选择使得设备能够被广泛应用于多种芯片制造领域，包括逻辑类和存储类芯片、摄像头芯片以及功率器件芯片等。

此外，KS-C300的国产化集成电路设备的成功应用，为客户提供了一个显著的成本优势。通过国产设备的引入，客户不仅能够节省大量的采购及维护成本，还能加快设备的调试与服务响应，缩短产品上市时间。这一系列优点使得KS-C300在行业内受到广泛认可与青睐。

该设备还通过了严格的SEMI S2认证，进一步证明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表现。SEMI S2认证是半导体设备行业的重要标准，确保设备在生产过程中符合国际安全及环境保护要求，为客户提供了额外的信心。总体来看，KS-C300涂胶显影机凭借其高效的生产能力、多样化的兼容性以及可靠的安全标准，成为先进半导体制造工艺中的设备之一。

2. 产品优势：

适合超薄晶圆处理，超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺
涂胶单元特殊设计，避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖"现象
机台为全封闭模块化结构，工艺单元灵活选配
占地面积小，产能高

工艺上可实现5mm以下晶圆翘曲片的传送加工，热板采用渐进式烘焙
可满足工厂自动化需求，无人值守

3. 应用域：

封装
MEMS
OLED