欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页  >  产品中心  >  半导体前道工艺设备  >  5 刻蚀设备  >  Pishow® D 系列8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备

8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备

简要描述:Pishow® D 系列深刻蚀设备,是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的专用设备,拥有自主开发的优化设计,保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率,可帮助不同客户实现产能升级。

  • 产品型号:Pishow® D 系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量: 133

详细介绍

8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀(ICP-DSE)设备

1. 详细介绍

Pishow® D 系列深刻蚀设备,是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的用设备,拥有自主开发的优化设计,保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。

该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率,可帮助不同客户实现产能升。

2. 系统特性

Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备

提供Bosch解决方案,实现对Si的高深宽比刻蚀

优化的气柜设计,缩短进气距离,短工艺切换时间小于1.0

Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆,提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式




产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
Baidu
map