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MA200 3代提供适应众多生产过程的智能化解决方案。多样化的对准方案、灵活可调的镜头系统和特殊附加选项使本系统成为处理各种不同工艺的全能设备。
高度自动化且切实节省宝贵的处理时间。这也体现在细节方面,例如选择自动更换滤光片,以便维持低运营成本。
MA200 3 代在设计方面着重凸出用户友好性。如可调节高度的显示器、符合人体工程学的I / O接口、连续运行期间更换晶圆盒和直接观看曝光模块等特性大大简化了设备操作,即使是在高负荷工作时。
凭借其广泛的附加选项,第 3 代 MA200 很容易就能达到特种光刻工艺的要求。
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