MPI探针台

1 产品概述：

   探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。

2 设备用途：

探针台的主要用途包括：

1. 半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。

2. 光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。

3. 集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。

4. 封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。

3 设备特点

探针台具有以下显著特点：

1. 高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。

2. 多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。

3. 自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。

4. 灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。

4  设备参数：

• 由于结合了精确的探测台、集成的控制软件和微调的电动定位系统，实现了出色的对准精度。

• 对具有非常小焊盘尺寸和低至微米级间距的      Micro LED 具有高精度探测能力。
       - 精密的针力控制
       - 精确的热控制
       - 适用于不同测试环境的抗振解决方案 - 探头接触补偿

• 集成探针卡或微定位器，用于可靠的      Micro LED 背板测量。
       - 能够轻松 测试具有复杂焊盘布局的光学设备 - 灵活的探头序列管理

• MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。

• MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的要求灵活配置和编程。

灵活性：由于支持多种测试配方，用户可以根据正在执行的产品和测试灵活选择或修改工作流程或编辑参数。
生产管理：通过直观易用的软件界面管理实验室/生产数据。集成的实时系统监控和报告功能可实现顺畅且无人值守的测试过程。
无缝集成：借助 MPI 广泛的仪器库，MPI 测试系统可以轻松与主流第三方测量仪器对接，满足您测试需求。