MPI探针台

1 产品概述：

   探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。

2 设备用途：

探针台的主要用途包括：

1. 半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。

2. 光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。

3. 集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。

4. 封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。

3 设备特点

探针台具有以下显著特点：

1. 高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。

2. 多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。

3. 自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。

4. 灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。

4  设备参数：

  出色的测试精度：短 DUT 和 ISP 分离，实现佳光收集，骰子偏移补偿

  通过热卡盘支持实现准确稳定的温度控制。

  可编程拾取和放置力在5g~200g之间。

 全屏蔽暗盒设计消除了不必要的照明干扰。

  具有高引脚数探测能力（4 ~ 256 通道）的多站点测试，可实现高吞吐量。

  电学/光学特性的综合统计和分析工具：色度 （xyz）、强度、辐照度。