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1.产品概述
全封闭式桌面显影机是一种高效、精准的实验室设备,主要用于各种材料的显影处理。其全封闭式设计能够有效防止显影液挥发和污染,确保实验环境的清洁和安全。同时,桌面型设计使得设备占地面积小,便于移动和放置,适用于各种实验室环境。
2.产品特点
全封闭式设计:避免显影液挥发和雾气扩散到外部,保护环境,减少对人体健康的危害。
耐腐蚀材质:外壳喷塑处理,耐腐蚀、易清洗;内腔采用不锈钢材质,镜面抛光处理,光滑、耐腐蚀、易清洗。
内置真空过滤器:防止液体吸入真空泵,保护设备免受损坏。
可调真空压力:真空压力可调,压力值实时显示,满足不同实验需求。
可调液体流量:液体流量可调,回吸可调,确保显影过程的精确控制。
广泛适用性:适用于多种尺寸的wafer,从碎片到200mm(8"圆晶)均可处理。
高精度控制:转速分辨率高,旋涂速度和加速度可调,工艺时间设定精确。
3.应用域
全封闭式桌面显影机广泛应用于高封装、MEMS(微机电系统)、LED(发光二管)等市场域。此外,它还可用于医疗卫生、化工、能源、电子等多个行业的实验室中,进行各种材料的显影处理。
4.产品参数
产品型号:DM200-SE
品牌:LEBO/雷博
产地:中国(江苏江阴)
材质:外壳喷塑,内腔不锈钢
尺寸:550mm (W) x 600mm (D) x 405mm (H)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)
转速分辨率:±1 RPM
旋涂速度:20-3000rpm(空载)
旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空载)
工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec
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