多模态光电显微镜

烛龙™系列中的多模态光电显微镜是一台具有超高稳定性的多功能光电综合测试和微加工系统，可根据客户需求提供多种灵活可选的配置和方案。系统集成了电动运动台和振镜的扫描方式，可实现瞬态和稳态下的光电流测试和扫描成像，荧光寿命测试和扫描成像，拉曼光谱测试，二次谐波测试，荧光光谱采集，发射和吸收等光谱端的测试和扫描成像。除此之外，整套系统可搭配飞秒脉冲激光器和我司自主研发的低温系统进行相关的变温测试以及器件表面的微加工和缺陷标记。多模态光电显微镜将为众多新质生产力领域提供强大的支持，助力国内相关领域的发展和科技创新。

- 极紫外-太赫兹波段的超宽谱线覆盖范围(266nm-0.8THz)

- 多种可选的稳态光源和瞬态光源

- 提供激光功率和频率的软件控制

- 电动显微聚焦

- 多种可选的光采集模式

- 瞬态和稳态光源和光路的电动切换

- 线偏振光和圆偏振光的电动偏振测试

- 支持直流，交流以及高频探针

（漏电流<100fA）

- 支持常温和变温下的引线键合测试（10K-450K）

- 支持常温和变温下的探针测试

（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多种源表

- 兼容OE1201，SR810等多种锁相放大器