AL实时监控器

1. 产品概述

SENTECH AL 实时监测器是一种经过验证的光学诊断工具，可实现单个 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要应用是在不破坏真空的情况下分析薄膜特性（生长速率、厚度、折射率以及蚀刻速率），在短时间内开发新工艺，以及实时研究 ALD 和 ALE 周期期间的反应机理。

2. 主要功能与优势

高效的工艺开发和优化

使用单原子层沉积 （ALD） 或原子层蚀刻 （ALE） 循环可以快速轻松地开发和优化原子层工艺。SENTECH AL 实时监测器以 40 ms 的超高时间分辨率显示吸附和解吸。节省了工艺、基材、驱体和气体的开发时间。

保存驱体

使用 SENTECH AL 实时监控器进行优化后，ALD 处理变得更加高效。节省了驱体和处理时间。

驱体制品控制

当驱体供应耗尽时，SENTECH AL实时监测器检测到的每个周期的生长变化会立即显示出来。

灵活性和模块化

创新的 SENTECH AL 实时监测器为快速高效的工艺开发和优化而设计，可使用 SENTECH PEALD 和 ALD 系统进行优化。

一个软件即可轻松操作 SENTECH PEALD 系统、SENTECH ALE 系统和 SENTECH AL 实时监测器。

用于光学常数的大型材料库支持新工艺的开发，并可以通过非原位表征进行扩展。

SENTECH AL 实时监控器集成到 SENTECH SIA 操作软件中，确保操作简单。