薄膜计量光谱反射仪

1. 产品概述

RM 1000 和 RM 2000 光谱反射仪可测量表面光滑或粗糙的平面或弯曲样品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert软件计算单膜或层叠的厚度、消光系数和折射率。厚度分别为 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的单片、层叠和基板可以在 UV-VIS-NIR 光谱范围内进行分析。

2. 主要功能与优势

突破折光率测量的限

SENTECH反射仪通过样品的高度和倾斜调整以及光学布局的高光导率，具有精密的单光束反射率测量功能，允许对n和k进行可重复的测量，在粗糙表面上进行测量，以及对非常薄的薄膜进行厚度测量。

紫外到近红外光谱范围

RM1000 410 纳米 – 1000 纳米

RM2000 200 纳米 – 1000 纳米

高分辨率映射

RM 1000 和 RM 2000 反射仪可选配 x-y 成像台和成像软件以及用于小光斑尺寸的物镜。

3. 灵活性和模块化

SENTECH RM 1000 和 RM 2000 代表我们的反射仪。桌面设备包括高度稳定的光源、带有自动准直望远镜和显微镜的反射光学器件、摄像机、高度和倾斜度可调的样品平台、光谱光度计和电源。它可以选配 x-y 成像台和成像软件，以及用于第二种光斑尺寸的物镜。

除了薄膜厚度和光学常数外，薄膜的组成（例如氮化镓上的AlGaN，硅上的SiGe），增透膜（例如在纹理硅太阳能电池上，紫外线敏感的GaN器件）以及小型医疗支架上的涂层都可以通过我们的反射仪进行测量。这些反射仪支持微电子、微系统技术、光电子、玻璃涂层、平板技术、生命科学、生物技术等域的应用。

用于我们的反射仪 RM 1000 / 2000 的综合性、以配方为导向的 SENTECH FTPadv EXPERT 软件包括测量设置、数据采集、建模、拟合和报告。已经内置了一个包含预定义、客户验证和即用型应用程序的广泛数据库。“自动建模"选项允许从光谱库中自动选择样本模型。基于SENTECH在椭圆偏振光谱方面的业知识，庞大的材料库和各种色散模型使我们的光谱反射仪能够分析几乎所有的材料和薄膜。操作员可以很容易地使用新的光学数据更新数据库。SENTECH通过椭圆偏振光谱法测量具有未知光学特性的新材料，为客户提供支持。