薄膜计量膜厚探头

1. 产品概述

FTPadv是一种经济高效的台式光谱反射解决方案，具有快速厚度测量功能。测量时间不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范围为 50 nm – 25 μm。包括一系列预定义的配方，便于光谱反射仪操作。

2. 主要功能与优势

获得薄膜厚度的短方法

通过选择并开始适当的配方，SENTECH FTPadv 反射仪可在不到 100 ms 的时间内完成厚度测量，精度小于 0.3 nm，厚度范围为 30 nm – 25 μm。

AutoModel 功能和基于 SE 的材料库

通过比较测得的反射光谱和光谱库，可以将操作员的误差降低。基于SENTECH的椭圆偏振光谱仪测量的大型材料库，为新材料的光学常数测量提供了方法。

应用业知识

30 多年来，SENTECH 已成功销售用于各种应用的 FTPadv 膜厚探头。这款台式反射仪可在工业或研究环境中，通过远程或直接控制，在低温或高温下，原位或在线测量小样品到大窗玻璃的厚度。

3. 灵活性和模块化

SENTECH FTPadv的一个关键特性是可以测量多层样品中任何层的厚度，这使得FTPadv成为膜厚测量的理想、经济高效的解决方案。用于过程控制的FTPadv包括一个带有柱子和样品架的光纤束、一个带卤素灯的稳定光源以及FTP光学器件和控制器站。通过LAN连接到PC，可以在恶劣的工业应用环境、受到特殊保护的房间或大型机械中远程控制工具。

反射仪 FTPadv 带有大量预定义的配方，例如半导体上的电介质、半导体上的半导体、硅上的聚合物、透明基板上的薄膜、金属基板上的薄膜等。自动建模功能允许通过与光谱库进行比较来快速检测样品类型。该反射仪将操作员错误降低。通过光学反射测量薄膜厚度从未如此简单。

FTPadv菜单驱动的操作软件允许在出色的操作员指导下对单层和多层结构进行厚度测量。此外，它还具有强大的分析工具和出色的报告功能。额外的映射软件可用于控制电动样品台。将软件升到软件包FTPadv EXPERT，用于反射测量的高分析，通过应用具有未知或不同光学特性的材料，扩展了标准软件包。因此，可以进行厚度测量以及单片薄膜的折射率和消光系数分析。