薄膜计量激光椭圆仪

1. 产品概述

SENTECH SE 500adv结合了椭圆偏振法和反射法，消除了测量透明薄膜层厚的模糊性。它将可测量的厚度扩展到 25 μm。因此，SE 500adv 扩展了标准激光椭偏仪 SE 400adv 的功能，特别适用于分析较厚的电介质、有机材料、光刻胶、硅和多晶硅薄膜。

2. 主要功能与优势

明确的厚度测定

椭圆偏振法和反射法的结合允许通过自动识别循环厚度周期来快速、明确地确定透明薄膜的厚度。

大的测量范围

激光椭偏仪和反射仪的结合将透明薄膜的厚度范围扩展到 25 μm 或更多，具体取决于所选的光度计选项。

突破激光椭圆偏振仪的限

多角度手动测角仪具有优秀的性能和角度精度，可以测量单片和层叠的折射率、消光系数和膜厚。 

3. 灵活性和模块化

SENTECH SE 500adv 可用作激光椭偏仪、膜厚探头和 CER 椭偏仪。因此，它提供了标准激光椭偏仪无法达到的大灵活性。作为椭圆仪操作，可以执行单角度和多角度测量。当作为膜厚探头操作时，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下测量的。

SE 500adv 中的椭圆偏振法和反射仪 （CER） 组合包括椭偏仪光学元件、测角仪、组合反射测量头和自动准直望远镜、样品平台、氦氖激光源、激光检测单元和光度计。