薄膜计量椭圆光谱仪

1. 产品概述

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 椭圆偏振法分别测量高达 2,500 nm 或 3,500 nm 的近红外光谱。它提供宽的光谱范围、佳的信噪比和高的可选光谱分辨率。可以测量厚度达 200 μm 的硅膜。FTIR椭圆偏振仪的测量速度与二管阵列配置相比，二管阵列配置也可选择高达1,700 nm。

2. 主要功能与优势

宽的光谱范围和高的光谱分辨率

SENTECH SENresearch 4.0 椭圆偏振光谱仪覆盖从 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（NIR）的宽光谱范围。该器件具有高光谱分辨率，可使用 FTIR 椭圆偏振法分析厚度达 200 μm 的厚膜。

无运动部件，符合 SSA 原理

在数据采集过程中没有移动的光学部件，以获得佳测量结果。步进扫描分析仪 （SSA） 原理是 SENresearch 4.0 光谱椭偏仪的一个功能。

通过创新的 2C 设计实现全 Mueller 矩阵

通过创新的 2C 设计扩展了 SSA 原理，可以测量完整的 Mueller 矩阵。2C 设计是一种可现场升且经济高效的配件。

3. 灵活性和模块化

电动金字塔测角仪的角度范围为 20 度至 100 度。光学编码器确保了高精度和角度设置的长期稳定性。光谱椭圆仪臂可以独立移动，以进行散射测量和角度分辨透射测量。

该工具根据步进扫描分析仪 （SSA） 原理运行。SSA将强度测量与机械运动分离，从而可以分析粗糙的样品。在数据采集过程中，所有光学部件都处于静止状态。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于映射和原位应用的快速测量模式。

SENresearch 4.0 的定制椭圆仪可以针对标准和高应用进行配置。例如介电层堆栈、纹理表面以及光学和结构 （3D） 各向异性样品。为各种应用提供了预定义的配方。