微型轮廓仪（光学检测）

1. 样品台规格：

样品台尺寸：Φ160mm

大工件尺寸：Φ200mm

大工件厚度：52mm

大工件重量：2kg

纵向调整范围：2.5" (±5mm/160mm)

样品台材质：黑色硬质铅

手动旋转：360°（手动粗调）、±5°（微调，小约0.5°）

2. 传感器参数：

原理：光栅式传感器

Z方向测定范围：Max. 600μm

Z方向小分辨率（随放大倍率变化）：

x5,000倍时：10nm ±300μm

x10,000倍时：5nm ±160μm

x20,000倍时：2.5nm ±80μm

x50,000倍时：1nm ±32μm

x100,000倍时：0.5nm ±16μm

x200,000倍时：0.25nm ±8μm

x500,000倍时：0.1nm ±3.2μm

x1,000,000倍时：0.05nm ±1.6μm

x2,000,000倍时：0.025nm ±0.8μm

测定力：10μN～500μN

触针半径：2μm 60° 钻石针头（另有多种可选）

驱动方式：直流伺服

重复性：te = 0.2nm (1μm以下台阶时)

3. X轴（基准轴/测量轴）参数：

移动量（大行程）：100mm (±50mm)

直线度：0.2μm/100mm (全量程)，5nm/5mm (局部)

移动速度：0.005～20mm/s

线性度（linear scale）：X方向分辨率 0.1μm

位置重复误差：±5nm

以下是详细列出的机械臂参数和功能：

4. Z轴参数：

移动量：54mm

移动速度：大2.0mm/S

检出器自动停止机能

5. Y轴参数（手动定位用）：

移动量：25mm（±12.5mm）

6. 工作观察参数：

彩色1/3"CCD，配备x4物镜倍率

综合倍率：约320倍（使用19"显示器时）

视野范围：1.2mm x 0.9mm

观察方向：右侧斜视

照明系统：白色LED，支持软件调整明暗度

7. 软件功能简介：

型号：i-STAR31

可设定测量条件菜单、重复测量设定及解析菜单

支持设定下针坐标，实现定位后自动测量及解析功能

配备低通滤波功能，有效过滤噪音及杂讯

具有返回测量起始点功能

显示倍率范围：垂直方向502,000,000倍，纵方向110,000倍

强大的解析功能，包括主要图形、段差解析、粗糙度解析、内应力分析及多种段差解析选项

8. 其他参数：

床台材质：一体花岗岩

防振台（选购）：提供落地型或桌上型选项

电源规格：AC220V±10%，50/60HZ，300VA本体外观尺寸及重量：W500×D440×H610mm，重120kg，采用一体花岗岩低重心结构设计（不含防振台）