薄膜计量椭圆光谱仪

1. 产品概述

SENTECH SENpro 椭圆偏振光谱仪具有操作简单、测量速度快、不同入射角椭偏振测量的组合数据分析等特点。它的测量光谱范围为 370 nm 至 1,050 nm。该工具的光谱范围与先进的软件 SpectraRay/4 相结合，可以轻松确定单片薄膜和复杂层叠的厚度和折射率。

2. 主要功能与优势

离散入射角

SENTECH SENpro 光谱椭圆仪包括一个角测角仪，其入射角以 5° 步长 （40° – 90°） 进行，以优化椭圆测量。

步进扫描分析仪原理

SENpro具有的步进扫描分析仪原理。在数据采集过程中，偏振器和补偿器是固定的，以提供高精度的椭圆测量。

速度和准确性

该工具注于测量薄膜的速度和准确性，无论它们应用于何处。应用范围从 1 nm 的薄层到高达 15 μm 的厚层。 

可重复且准确的结果

经济高效的台式 SENTECH SENpro 包括 VIS-NIR 椭圆仪光学元件、5° 步进测角仪、样品平台、激光对准、光纤耦合稳定光源和检测单元。SENpro 配备光谱椭圆仪软件 SpectraRay/4，用于系统控制和数据分析，包括建模、模拟、拟合和数据呈现。即用型应用程序文件使操作变得非常容易，即使对于初学者也是如此。SpectraRay/4 支持计算机控制的均匀性测量映射。