探针台

1.  产品概述：

探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台（样品台）、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成，其核心部件包括x-y工作台，该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。

2 设备用途/原理：

1. 晶圆检测：在半导体制造过程中，探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。

2. 芯片研发和故障分析：探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估，帮助工程师及时发现和解决潜在问题，优化芯片设计。同时，它也可用于芯片的故障分析，定位问题区域。

3. 封装检测：在封装工艺之前，探针台用于对芯片进行CP测试（Chip Probing Test），确保封装前的芯片性能符合标准。

4. 其他应用：探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。

3. 设备特点

 1 高精度定位：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。

 2 多功能性：探针台支持多种测试需求，包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量，以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。

 3 高效测试：探针台支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，提高测试效率。此外，一些先进的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预。
4 设备参数

• 可移动压板，高度调节 40 mm，接触/分离行程 200 μm，重复精度± 1 μm

• 具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段，Z轴卡盘调整和90毫米的拉出

• 磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴

• 包括匹配的电缆和基材

• 射频卡盘 ±3 μm 表面平面度

• 200 μm 压板接触/分离行程，精度≤± 1 μm，可实现可重复接触