薄膜计量光谱仪软件

1. 产品概述

SpectraRay/4 是 SENTECH 有的光谱椭圆偏振仪软件，包括椭圆、反射和透射数据的数据采集、建模、拟合和扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。 包括一个基于 SENTECH 厚度测量和文献数据的庞大而全面的材料数据库。大量的色散模型允许对几乎任何类型的材料进行建模。

2. 映射

我们的光谱椭圆偏振仪的映射选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计数据以及以 2D 颜色、灰色、等高线、+/- 与平均值的偏差和 3D 绘图等图形显示数据。

3. 模拟

测量参数可以模拟为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数。

4. 交互模式

设置测量参数并开始薄膜厚度测量

通过从材料库拖放或从现有的色散模型中拖放来构建模型

定义和改变参数，使计算出的光谱与测量的光谱拟合

以交互方式改进模型，实现佳品质因数

通过从预定义或自定义的模板中进行选择，将结果报告为 word 文档

将所有实验数据、实验方案和注释保存在一个实验文件中

5. 配方模式

SpectraRay/4 配方模式的优点是两步操作：

选择和

从库中执行预定义的配方。

配方包括厚度测量参数、模型、拟合参数和报告模板。 

6. 灵活性和模块化

SpectraRay/4 具有单轴和双轴各向异性材料测量、薄膜厚度测量和层测量功能。该软件可处理去化、不均匀性、散射（Mueller 矩阵）和背面反射等样品效应。

该软件包括通用光谱椭圆偏振法软件包的所有实用程序，用于数据导入和导出（包括 ASCII）、文件管理、光谱的算术操作、显示、打印和报告（Word 文件格式 *.doc）。脚本编写功能使其非常灵活，可以自动执行常规测量，为要求苛刻的应用进行定制，并控制第三方硬件，如传感器、加热台、样品池或低温恒温器。