LSA 201 环境控制激光尖峰退火设备

简要描述：Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火（LSA）系统具有与 LSA101 相同的架构，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。该微室在于它不需要使用真空负载锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。LSA201 适用于高 k 金属栅极结活化和镍硅化物形成等应用。

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厂商性质：经销商
更新时间：2024-09-06
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1.产品概述：

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火（LSA）系统具有与 LSA101 相同的架构，但包括获得利的微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。该微室在于它不需要使用真空负载锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。LSA201 适用于高 k 金属栅结活化和镍硅化物形成等应用。LSA201 非常适合 20nm 以下的工艺，例如环境控制至关重要的界面工程和材料改性。

2.产品特点

长波长、布鲁斯特角、p 偏振光，可实现佳的芯片内均匀性

闭环温度反馈控制，保持严格的温度控制

布局独立设计，非常适合处理平面和 FinFET 器件

具有灵活停留时间的局部应力场可实现低应力处理并减少晶圆破损。

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