条形等离子清洁系统

1.产品特点

80 Plus 条形等离子清洁系统为半导体加工而开发，可支持手动及自动操作，两种操作方式均简单易用。该系统可以配备或不配备装卸站；此外，每个装卸站都可支持不同的配置。即便没有装卸站，也可将其集成到生产线中。

2.产品配置

该软件直观，满足当半导体行业的标准，其主要应用域是表面的活化和清洁。80 Plus系统操作十分高效，加上其等离子技术，使用它进行等离子处理只需几即可完成。

通过使用该系统进行等离子处理，可以快速有效地清除晶圆表面的杂质和污染物。这有助于提高晶圆的质量和性能，并确保生产过程中的稳定性和一致性。

另外，80 Plus系统还具有智能控制功能，可根据实际需要进行参数调整。这使得用户可以根据不同的加工要求来优化处理过程，并获得佳的加工效果。

除了晶圆表面清洁功能外，80 Plus系统还可以用于其他应用域。例如，在光伏行业中，它可以用于太阳能电池片的制造过程中，提高电池片的效率和稳定性。

PVA TePla 提供研发和合同代加工的广泛应用服务。 许多客户利用这些服务进行临床试验和中小型生产。

80 Plus 等离子系统提供两种电配置

离子配置：射频为 13.56 MHz 的电磁辐射通过电被送入腔室，以便通过加速离子实现表面轰击。除了这种物理效应，还有一种化学效应，但它比使用微波频率时获得的效果要小。

千兆配置：如果等离子设备配备微波发生器，则使用 2.45 GHz 的频率。腔室中没有电；微波在真空室外部产生，然后通过天线或波导输入。具有这种配置的等离子体以纯化学方式工作。