自动光谱反射仪

1. 产品概要

SENTECH RM 1000 QC反射仪设计用于快速简单地测量透明或吸收基材上的透明和半透明薄膜的厚度，用于工业生产过程中的质量控制。该工具涵盖 20 nm 至 50 μm 的膜厚范围，可用于< 100 μm 的测试图案。

2. 主要功能与优势

半自动桌面质量控制

SENTECH RM 1000 QC是一款光学反射仪，用于对图案化基板上的薄膜和散装材料进行质量控制。它是小规模和大规模生产中随机抽样、工具鉴定和统计过程控制 （SPC） 的理想选择。

通过手动晶圆处理对图案化晶圆进行质量控制

SENTECH RM 1000 QC 易于手动装载。然后，对于图案化的 200 mm 晶圆，模式识别、映射测量、分析以及报告结果和统计信息都自动化。

集成到实验室和晶圆厂环境中

SENTECH RM 1000 QC 可选择通过 SECS/GEM 集成到制造执行系统中。

3. 灵活性和模块化

SENTECH RM 1000 QC 光谱反射仪提供法向入射的反射率光谱，SENTECH SpectraRay/4 软件分析的参数包括薄膜厚度、吸收、成分、能隙、颜色和光谱带宽。模式识别用于测量结构化样本。

该工具的操作流程其简单，只需放置晶圆，启动自动化过程，工具就会返回准确的模式识别、测量和映射，以及精确、可重复的统计结果。

SpectraRay/4 是用于 SENTECH RM 1000 QC 的综合光谱椭偏仪软件。它包括两种操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允许轻松执行常规应用程序。交互模式通过交互式图形用户界面引导椭圆测量。