激光椭圆仪

1. 产品概述

SE 401adv 通过映射高达 200 毫米的液体单元、用于原位测量的液体单元、摄像机、自动对焦、模拟软件和经过认证的标准晶圆，可根据您的需求进行调整。

2. 主要功能与优势

亚埃精度

稳定的氦氖激光器保证了 0.1 Å 的精度，用于超薄单层的薄膜厚度测量。

高速

SENTECH SE 401adv 激光椭偏仪的测量速度使用户能够监测单片生长和终点检测，或绘制样品的均匀性图谱。

测量的椭圆角具有高稳定性和再现性

原位椭偏仪 SE 401adv 可用于监测反射样品表面不同环境因素的生长和蚀刻过程。它测量椭圆角度 Ψ 和 Δ 的时间依赖性，并实时计算厚度和折射率 

3. 灵活性和模块化

SENTECH SE 401adv 原位激光椭偏仪可用于从可选的、特定于应用的入射角表征单个薄膜和基板。自动准直望远镜可确保在大多数具有平坦反射表面的吸收性或透明基材上进行精确测量。集成的多角度测量支持（40° – 90°，步长为 5°）可用于确定层堆叠的厚度、折射率和消光系数。

SENTECH SE 401adv是用于超薄单膜厚度测量的激光椭偏仪。SENTECH SE 401adv 原位激光椭偏仪的选件支持微电子、光伏、数据存储、显示技术、生命科学、金属加工以及更多沿技术中的应用。

SENTECH SE 401adv 通过映射高达 200 毫米的液体单元、用于原位测量的液体单元、摄像机、自动对焦、模拟软件和经过认证的标准晶圆，可根据您的需求进行调整。