金属有机化学气相沉积

1.产品概述：

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统，适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台，能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能，以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室，以实现最大的生产力和灵活性，是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。

2.产品优势：

单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计，采用突破性技术，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台，以实现快速开发到生产周期.

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统，适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台，能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能，以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室，以实现大的生产力和灵活性，是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。

单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计，采用突破性技术，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台，以实现快速开发到生产周期。