真空泵

1. VS系列是旋片式（单）的油旋转真空泵。

VS系列是真空泵中的一款旋片式（单）油旋转真空泵，以其可靠的性能和高效的排气能力而广受欢迎。这款泵的核心结构设计精巧，采用了先进的旋片技术，确保了在抽气过程中提供稳定和持续的真空环境。为了满足更高的排气需求，VS系列泵可以灵活地与罗茨泵进行组合，这样一来，不仅可以显著提升排气量，还能在短时间内达到所需的高真空状态。这种高效的组合解决方案非常适合对快速抽气和高真空要求的工业应用，如半导体制造、物理气相沉积、化学气相沉积等。

在设计方面，VS系列泵内置了高效的油雾过滤器和回油装置。油雾过滤器能够有效去除排气过程中的油雾，防止油雾随排气排放到环境中，这一措施不仅有助于保护操作环境的清洁，也避免了潜在的设备污染。而回油装置则通过对泵内部油液的回收，确保了油的循环使用，这不仅提升了泵的工作效率，还延长了其使用寿命。这些设计显著提高了泵的排气性能，确保其长期稳定运行，降低了维护频率与运营成本。

值得一提的是，VS系列泵在维护便利性方面同样表现出色。在设计过程中，工程师们充分考虑到用户的操作体验，使得油和滤芯的更换过程变得极为简单和高效。用户无需耗费大量时间和精力即可完成这些维护工作，这种人性化的设计极大地优化了设备的日常管理，减少了停机时间，使得整个系统的可用性得到了显著提升。

2. 特点

水冷和强制给油。

在高负荷运转下也能满足缸体的供油，排气性能比压差给油更稳定。使用

压油防吸系统，泵停转时，可以防止油从油箱倒吸至吸气端。

3. 维保便捷性

除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外，还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。 

4. 用途

光学膜蒸镀设备

反射器蒸镀设备

装饰用蒸镀设备

薄膜卷绕蒸镀设备

内嵌溅射设备

烘烤炉 /热处理炉

冻干设备

检漏设备